日本走空运 COSMOS 新宇宙 气体检测器 PS-7 兼容NF 3检测

Cosmos型气体检测装置

PS-7

特征

具有感测器单元更换方法的固定式半导体材料气体检测单元

交付了经过校准的感测器单元，可以在现场更换，从而无需进行现场气体校准。

兼容NF 3检测

兼容于Modbus（RS-485/以太网络）（PS-7-M）*以太网络通信支持PoE

符合CE和SEMI标准

目的

用于半导体工厂的半导体材料气体泄漏检测

◆便携式（可更换感测器单元）半导体材料气体侦测单元为XPS-7II

◆便携式半导体材料气体侦测仪XP-703DIII

◆将信号布线无线化的无线转换器是WC-7L

规格

目标气体：半导体材料气体、氢气、氧气

检测原理：半导体材料气体：恒电位电解式氢气：热线式半导体式氧气：原电池式

抽气法：自动吸风式

尺寸:W62 x H124 x D143mm（不包括选件和突出部分）

重量：约1.0公斤

使用温度和湿度范围:0°C至40°C（无突变）、30至85%RH（无凝结）

使用电源：DC24V±10%

能量消耗：约7W

外部输出

・气体浓度模拟输出DC4-20mA（与负电源共享）

・气体警报接点（1级、2级）1a无电压接点/自动返回・故障警报接点（集电极开路/自动返回）